与真空过滤机配合的真空泵按照其工作原理基本上可以分为两种类型：气体捕集泵和气体传输泵，通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置，其应用范围广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
真空泵包括水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，是一种旋转式变容，真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。
真空泵分类为：液环泵、滑阀泵、直联旋片泵、罗茨泵。
对其有影响的因素有：对工作蒸汽及其干度的研究、对工作蒸汽及其干度的研究、对真空泵系统密封要求的研究、对喷嘴要求的研究、蒸汽的影响、环境的影响、泵体布局的影响。